2일 한국세라믹기술원은 세계 최초로 디스플레이 공정용 내플라즈마 유리를 상용화 했다고 밝혔다. 김형준 세라믹기술원 박사와 ㈜제니스월드로 이뤄진 공동연구팀은 이번 개발을 통해 불량률 감소와 내구성 증가를 크게 올렸다.
내플라즈마 유리는 디스플레이 배선 형성을 위해 사용하는 플라즈마 가스에 대한 내구성이 좋은 유리로 디스플레이 제작 과정에 사용되는 장비다.
연구팀은 기존 디스플레이 공정에 사용되는 대형 세라믹 부재(골조를 구성하는 기둥이나 보, 지붕틀 구조 등의 막대 모양의 재료로 주로 알루미나를 사용)에 전통도자기 유약 코팅 및 열처리기법을 적용해 내플라즈마 유리를 개발했다.
기존 대형 세라믹 부재는 제조과정과 사용 후 재생과정 중에 표면손상으로 인한 파티클(셀 불량을 일으키는 미세한 입자)과 가스발생으로 인해 공정 대기시간이 길어져 생산성이 떨어지는 단점이 있었다.
연구팀이 개발한 내플라즈마 유리는 OLED·LCD 등 디스플레이 공정에서 발생하는 파티클을 35% 이상 감소시키는 것으로 나타났다. 또 내플라즈마 특성이 40% 이상 개선돼 디스플레이 생산 비용 절감 효과도 있다고 밝혔다.
세계적으로 내플라즈마 유리를 코팅한 초대형 세라믹 부재를 상용화한 사례는 이번이 처음이다. 연구팀은 반도체 공정에도 확대 적용될 것을 기대하고 있다. 전세계 반도체·디스플레이 공정용 초대형 세라믹 시장은 약 4조원에 달한다. 재생 시장은 약 8200억원이다. 최근 중국 반도체·디스플레이 산업의 고속성장하면서 세라믹 시장이 확대될 것으로 예상되고 있다.
강진성기자
세라믹기술원과 제니스월드가 공동개발한 내플라즈마 유리를 코팅한 세라믹 부재 표면(왼쪽). 기존 세라믹부재(오른쪽)에 비해 매끄러워 파티클 불량을 감소시키고 부재자체의 내구성을 강화했다.
